(1)废气
拟建项目运营期间产生的废气主要为为制绒酸雾、返工片清洗、硼扩尾气、石英舟清洗、背面刻蚀酸雾、LPCVD(石英舟)、磷扩尾气、石墨舟、正面刻蚀酸雾废气、ALD(正面氧化铝钝化)、正面镀膜、背面镀膜、印刷尾气、擦拭废气、烧结、硅烷、氨气换车、污水处理站尾气、锅炉废气和食堂油烟。制绒和返工片清洗工序产生的HCL、HF密闭负压收集,经10台碱液喷淋塔处理后,通过一根25m高排气筒(DA001)达标排放;石英舟清洗工序产生的HCL、HF,硼扩工序产生的Cl2密闭负压收集,经4台碱液喷淋塔处理后,通过一根25m高排气筒(DA002)达标排放;背蚀工序产生的HCl、HF密闭负压收集,经10台碱液喷淋塔处理后,通过一根25m高排气筒(DA003)达标排放;LPCVD(石英舟)工序产生的颗粒物全密闭收集,经33个燃烧筒+4个袋式除尘器+8台硅烷燃烧塔+2台洗涤塔装置处理后,通过一根25m高排气筒(DA004)达标排放;石墨舟清洗工序产生的HCl、HF和磷扩散工序产生的Cl2、颗粒物(P2O5)密闭负压收集,经6台碱液喷淋塔处理后,通过一根25m高排气筒(DA005)达标排放;正面刻蚀工序产生的HCL、HF密闭负压收集,经12台碱液喷淋塔处理后,通过一根25m高排气筒(DA006)达标排放;ALD(正面氧化铝钝化)工序产生的颗粒物和正面镀膜工序产生的颗粒物、NH3、NOx全密闭收集,经设备内部换排气系统传递至42台燃烧筒+3台袋式除尘器+11台硅烷燃烧塔+3台酸液洗涤塔装置处理后,通过一根25m高排气筒(DA007)达标排放;背面镀膜工序产生的颗粒物、NH3全密闭收集,经26台燃烧筒+2台袋式除尘器+6台硅烷燃烧塔+2台酸液洗涤塔装置处理后,通过一根25m高排气筒(DA008)达标排放;印制烘干、残次片擦拭、烧结炉工序产生的有机废气负压收集,经设备自带在线燃烧装置+活性炭吸附装置处理后(印制烘干和残次片擦拭工序一套,烧结炉工序一套),通过一根25m高排气筒(DA009)达标排放;硅烷站、液氨笑气站工序产生的颗粒物、NH3在换气过程中产生的尾气引至2台喷淋塔处理,喷淋塔采用稀酸溶液喷淋,处理后尾气通过一根25m高排气筒(DA010)达标排放;污水处理站废气加盖密闭收集,经二级喷淋塔(酸液/碱液组合喷淋塔)处理后通过一根25m高排气筒(DA011)达标排放;锅炉采用天然气为能源,天然气燃烧废气经由一根15m高排气筒(DA012)达标排放;食堂油烟经油烟净化装置处理后经引至顶楼排放。
上述各类废气经处理后达到《电池工业污染物排放标准》(GB30484-2013)表5中的排放标准要求;氨、硫化氢达到《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)排放限值要求;天然气燃烧废气排放满足《锅炉大气污染物排放标准》(GB 13271-2014)表3中特别排放限值标准,其中氮氧化物满足《滁州市锅炉及工业炉窑综合整治工作方案》(滁大气办【2019】19号文)中排放浓度不高于50mg/m3的要求;食堂油烟排放满足《饮食业油烟排放标准(试行)》(GB18483-2001)标准要求。
(2)废水
本项目的排水主要有生产工艺废水及辅材清洗废水(强碱废水、稀碱废水、强酸废水、烯酸废水)、废气洗涤塔废水(强碱废水、高氨废水)、纯水制备废水、循环冷却水排放废水、锅炉排污水和生活污水。工艺废水(除稀碱废水)和废气治理过程中产生的强碱废水经除氟系统处理、工艺稀碱废水经中和系统处理,废气处理装置产生的高氨废水与生活污水经生化系统处理与纯水制备浓水、循环冷却水系统定排水和锅炉排污水一起排入市政污水管网接入来安县顶汊省际毗邻地区产业园污水处理厂集中处理(污水处理厂未运行前,项目不得投入运行),处理达标后排入滁河。项目COD、SS、总磷、氨氮、总氮、氟离子等污染物排放满足《电池工业污染物排放标准》(GB30484-2013)表2间接排放限值。
(3)噪声
营运期,项目厂界噪声执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)标准中3类标准
(4)固体废弃物
项目固体废弃物主要为一般包装物、反渗透、超滤等水处理膜、污泥、尘渣、废石墨、石英舟、废品硅片、沾染银浆的擦拭抹布、废丝网、化学品包装桶、废活性炭废、抹布手套和生活垃圾。一般包装物、反渗透、超滤等水处理膜外售综合利用;污泥委托相关单位处置;尘渣、废石墨、石英舟外售综合利用;废品硅片、沾染银浆的擦拭抹布由专门的公司回收再利用;废丝网由原厂家回收。化学品包装桶、废活性炭废、抹布手套为危险废物收集后暂存于危险废物暂存间,化学品包装桶由原厂家回收,废活性炭废、抹布手套定期委托具有相关资质的专业危险废物处置单位外运处理。生活垃圾集中收集后交由当地环卫部门定期统一清运。
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